警惕电子特气！汉威科技为半导体发展系紧“安全带”

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警惕电子特气！汉威科技为半导体发展系紧“安全带”

2025-12-22 17:33 来源：旅游都市网阅读次数：3255

当前，数字经济席卷全球，半导体产业站上时代潮头，吸引着相关行业竞逐这条“黄金赛道”。从人工智能的算力爆发到万物互联的智能终端，从新能源汽车的“大脑”到高端装备的“心脏”，芯片已成为驱动现代文明进步的“工业粮食”。据相关数据显示，预计2025年至2030年间，全球半导体市场将以8.5%的年复合增长率稳步扩张。至2030年，市场规模有望突破11112亿美元，持续引领全球高科技产业的结构性增长。

然而，这条黄金赛道上也有着不容呼吸的危险隐患——电子特气。

电子特气贯穿于芯片制造的光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、清洗等核心工艺环节，其纯度与稳定性直接决定着芯片的性能与良率。但这些电子特气往往具有易燃易爆、有毒有害等危险特性，如氢气、氨气、磷化氢、砷化氢、磷化氢、硅烷、溴、氟、氰化氢、氟化氢等，一旦在生产、存储、输送或使用环节发生泄漏，将会引发火灾、爆炸等严重后果。

对于电子特气的安全监管，构建一道精准、可靠、全天候的可燃有毒气体监测防线，已不再是简单的合规要求，而是半导体产业稳健发展的生命线。

这道防线必须精准部署于风险的源头与关键通道。包括气体供应与存储区：特气柜、气瓶架、大宗气体储罐周围；工艺设备点：围绕刻蚀机、扩散炉、CVD（化学气相沉积）设备等用气设备的接口与腔体附近；气体输送管路：特殊气体供应管路、阀门组区域；人员作业场所：洁净室、设备维护区、分析实验室等人员活动密集场所；废气处理装置前：在尾气通往处理系统的管线上，监测未经处理的危险气体浓度。

汉威科技针对半导体行业推出的气体安全检测解决方案，搭载如GD-HS10半导体工厂气体检测仪等高灵敏度、高可靠性设备，支持对上百种危险气体的实时监测与早期预警，通过智能化平台实现“早发现、早预警、早处置”，为洁净室与生产线提供持续安全保障。

汉威GD-HS10半导体工厂气体检测仪专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体，具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点，支持半导体行业全气体的检测。LCD点阵屏大屏显示，可显示任意字符，支持中英文切换，人机界面友好；背板式挂壁安装，方便安装与接线；电磁泵吸原理，相对电机式机械磨损小，泵寿命长；主机平台可更换传感器模组，可扩展多达百种气体。

展望未来，半导体的发展璀璨可期，而其稳健前行必以安全为基石。唯有通过智能化监测与数字化管控，以科技筑牢防线，才能为这条创新之路铺就坚实根基，真正实现可持续的智慧发展。

责任编辑：文刀刘